RCL 系列 3 kW 多坩堝線性噴槍™
蒸發(fā)源
系列：RCL
Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝線性電子槍提供增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描，具有完整的坩堝覆蓋，并可通過自動分度器進(jìn)行自動定位，單獨(dú)出售。
蒸發(fā)源
系列：RCL
3 kW 多坩堝線性噴槍™
Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝線性電子槍提供增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描，具有完整的坩堝覆蓋，并可通過自動分度器進(jìn)行自動定位，單獨(dú)出售。
特征
真正的 XY 清掃，坩堝覆蓋
源附帶的掃頻線圈
增強(qiáng)的光束準(zhǔn)直
插件發(fā)射器模塊
增強(qiáng)的高穩(wěn)定性冷卻
交叉污染屏蔽
堅(jiān)固的設(shè)計(jì)
可選的自動索引器
規(guī)格
| 工作壓力 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想選擇 |
| 光束電壓 | 4,000 伏直流電 |
| 束流 | 0–750 mA 連續(xù)可變 |
| 最大功率 | 3 千瓦 |
| 冷卻水 | 1.5 加侖/分鐘 |
| 壓差 | 最小 25 psi |
| 最大烘烤 溫度 | 230°C （446°F） |
| 坩堝體積 | 2.24 cc x 3、4 或 5 個坩堝 |
Thermionics3kW多坩堝線性電子槍 真空組件
| 描述 | 型號 |
|---|---|
| 多個坩堝 3 kW e-Gun 源，帶掃掠線圈，線性 3 位 | RCL0303 |
| 多個坩堝 3 kW e-Gun 源，帶掃掠線圈，線性 4 位 | RCL0304 |
| 多個坩堝 3 kW e-Gun 源，帶掃掠線圈，線性 5 位 |
